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碳化硅外延技術規范
[2021-02-23]
型號4英寸N型6英寸N型厚度120微米及以下120微米及以下濃度區間2E14-1E19 cm-38E14-1E19 cm-3濃度均勻性≤8%≤8%厚度均勻性≤2%≤2%
硅外延技術規范
[2021-02-23]
序號特征參數測試方法1外延層摻雜劑Boron, Phosphorus, Arsenic2外延層晶向<100>, <111>3外延層電阻率外延爐直徑類型外延片電阻率均勻性
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